材料生长设备
Ga（Al，In）N基材料生长MOCVD
Aixtron 2400 G3
Ga（Al，In）N基材料生长MOCVD
Veeco p-125
GaAs/InP基材料生长-MBE设备
MBE设备
超净间及器件制作设备
超净间一览
更衣室
风淋门入口
黄光间
酸、碱清洗台
紫外光刻机
等离子去胶机
电感耦合等离子体
反应离子刻蚀机
高真空介质蒸着镀膜机
和高真空金属蒸着镀膜机
台阶仪
快速退火炉
多功能键合机
电子束蒸发
材料及器件表征设备
方块电阻测试仪
XRD-X射线衍射仪
LED光电测试仪
变温光致荧光
变温电致荧光
霍尔测试仪
LED热阻结构分析系统
多功能探针台和KEITHLEY 4200
傅里叶红外光谱仪
黑体测试仪
高倍聚光光伏器件测试系统
多结太阳能电池
电性能测试用多光源太阳能模拟器
及太阳能电池伏安特性测量