材料生长设备
Ga（Al，In）N基材料生长MOCVD
Aixtron 2400 G3
方块电阻测试仪
XRD-X射线衍射仪
荧光光谱仪
KEITHLEY 4200
超净间及器件制作设备
Ga（Al，In）N基材料生长MOCVD
Veeco p-125
材料及器件表征设备
LED电致荧光
变温/变功率PL系统
霍尔测试仪
太阳模拟器
GaAs/InP基材料生长-MBE设备
GeSi基材料生长-MBE设备
超净间入口
更衣室
风淋门入口
MBE工作区
退火炉
黄光区-酸清洗台
黄光区-有机、碱清洗台
黄光区-电镀台
黄光区-甩胶、热板区域
黄光区-紫外光刻区
退火炉
电子束蒸发
等离子体去胶机
引线仪